表界面微觀形貌缺陷測量「三維標尺」 中國建成全球首套
【中新社北京二月八日電】(記者劉亮)一次測量即可同時獲得表界面立體空間的微觀形貌和結構信息,猶如在長白山天池水域內,同時精準獲取水面漣漪與水中魚群乃至水底地貌。
記者八日從中國國家市場監管總局獲悉,該部門近日批准新建區域法表面與亞表面結構幾何參數基準裝置,該裝置在國際上率先實現從二維「輪廓線」到三維「空間體」的維度提升,實現表界面結構空間立體成像;測量維度從表面形貌拓展至表面下一百三十微米範圍內的亞表面區域微觀幾何結構,達到國際領先水平。
該基準裝置實現表界面微觀幾何形貌結構計量能力從「盲人摸象」輪廓法躍升至「三維全景」區域法的技術跨越,開創亞表面結構計量體係,填補中國三維表面形貌與亞表面結構計量能力空白。其核心技術實現完全自主可控,使中國在表界面計量領域完成了從跟跑到領跑的歷史性跨越,為集成電路、高端智能裝備、航空航天、遙感探測等精密製造業高質量發展夯實計量基礎。
據悉,超精密製造、原子級製造已成為當前和未來一段時間中國製造強國建設的重要發展方向。表界面結構幾何參數的準確評定直接關乎絕大多數製造業產品的質量安全、疲勞失效等全壽命周期問題。因此,國家表界面結構計量基準與計量體係的能力水平對中國製造業未來的國際發展非常關鍵。◇